2. 規格
身體的尺寸高度:88mm(2U)/寬度:485mm/長度:260mm
讀出MFC 控制 4 通道,獨立
電源電壓--+15 0.5Vd/1A(總額定值為 1 Amp max)
-15 0.5Vd/1A(總額定值為 1 安培最大值)
設定點輸出 -- 4 0 to 5Vdc@5mA(=5.000 0.1Vdc)
流量輸入 -- 4 0 至 5Vdc
連接器 - D 型 9 針母連接器
顯示 4 3 1/2 位 LED 顯示設定點、流量、滿量程
用於 4 通道 MFC 的遠程獨立控制:
遠程設定點輸入——0 到 5Vdc 到 100K ohms 負載
遠程流量讀數輸出 -- 0 至 5Vdc @5mA
遠程設置點使能--TTL 低電平有效
遠程氣體開啟 -- TTL 低電平有效
遠程吹掃——用於 MFC 吹掃的干觸點
截止閥控制 4 通道
+24Vdc/600mA(總額定值為 2.4 Amp max)
電源輸入 90 至 260 Vac 50/60Hz
配件
電源線--1pcs,6 feet
MFC單線-- 4 CB211-3(3米,用於卡邊式MFC)
(要訂購其他長度的 MFC 電纜,請聯繫您當地的代表)
3. 功能說明
3.1 前面板
PC-540 的前面板分為四個部分;每個部分負責控制一個 MFC。
由於 PC-540 的前面板分為四個相同的部分,本介紹將解決
只有一節中的功能。請參見圖 2 中前面板的局部視圖。
(1) 數字顯示:
3-1/2 位紅色 LED 顯示屏顯示設定點、流量和滿量程。
(2) LED 指示燈:
SCCM:表示顯示為SCCM。
SLM:表示顯示處於SLM。
遠程:表示設定點當前正由外部信號控制。
錯誤:表示設定流量與實際流量存在較大差異。
(3) 控制開關:
GASON:指示 MFC 進行流量控制。
STANDBY:指示MFC進入待機模式。
(4) F.S. (全尺寸):
ADJ:設置 MFC 的流量滿量程值。
VIEW:滿刻度顯示按鈕;按此按鈕顯示滿量程值。
(5) Set ADJ(流量設定撥盤):
10圈精密電位器(帶鎖定功能);用於設置 MFC 的流量。
(6) 顯示選擇切換:
FLOW:指示顯示屏顯示實際氣體質量流量。
設置:指示顯示屏顯示設定點氣體流速值。
2. 規格
身體的尺寸高度:88mm(2U)/寬度:485mm/長度:260mm
讀出MFC 控制 4 通道,獨立
電源電壓--+15 0.5Vd/1A(總額定值為 1 Amp max)
-15 0.5Vd/1A(總額定值為 1 安培最大值)
設定點輸出 -- 4 0 to 5Vdc@5mA(=5.000 0.1Vdc)
流量輸入 -- 4 0 至 5Vdc
連接器 - D 型 9 針母連接器
顯示 4 3 1/2 位 LED 顯示設定點、流量、滿量程
用於 4 通道 MFC 的遠程獨立控制:
遠程設定點輸入——0 到 5Vdc 到 100K ohms 負載
遠程流量讀數輸出 -- 0 至 5Vdc @5mA
遠程設置點使能--TTL 低電平有效
遠程氣體開啟 -- TTL 低電平有效
遠程吹掃——用於 MFC 吹掃的干觸點
截止閥控制 4 通道
+24Vdc/600mA(總額定值為 2.4 Amp max)
電源輸入 90 至 260 Vac 50/60Hz
配件
電源線--1pcs,6 feet
MFC單線-- 4 CB211-3(3米,用於卡邊式MFC)
(要訂購其他長度的 MFC 電纜,請聯繫您當地的代表)
3. 功能說明
3.1 前面板
PC-540 的前面板分為四個部分;每個部分負責控制一個 MFC。
由於 PC-540 的前面板分為四個相同的部分,本介紹將解決
只有一節中的功能。請參見圖 2 中前面板的局部視圖。
(1) 數字顯示:
3-1/2 位紅色 LED 顯示屏顯示設定點、流量和滿量程。
(2) LED 指示燈:
SCCM:表示顯示為SCCM。
SLM:表示顯示處於SLM。
遠程:表示設定點當前正由外部信號控制。
錯誤:表示設定流量與實際流量存在較大差異。
(3) 控制開關:
GASON:指示 MFC 進行流量控制。
STANDBY:指示MFC進入待機模式。
(4) F.S. (全尺寸):
ADJ:設置 MFC 的流量滿量程值。
VIEW:滿刻度顯示按鈕;按此按鈕顯示滿量程值。
(5) Set ADJ(流量設定撥盤):
10圈精密電位器(帶鎖定功能);用於設置 MFC 的流量。
(6) 顯示選擇切換:
FLOW:指示顯示屏顯示實際氣體質量流量。
設置:指示顯示屏顯示設定點氣體流速值。
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